Turbomolekularpumpe, F-400 / 3500N, Wasserkühlung, Ölschmierung, Korrosionsschutz
Die Turbopumpen der N-Serie sind auf Basis der herkömmlichen Turbopumpe innoviert. Die Hauptverbesserung ist die Vernickelung der Kernkomponenten und die Installation der Spüleinrichtung, wodurch die Pumpen der N-Serie für Anwendungen in korrosiven Umgebungen gut geeignet sind.
Kyky Technology Co., Ltd. verfügt über langjährige Erfahrung in Forschung und Entwicklung sowie in der Herstellung von Produkten zur Vakuumerzeugung, einschließlich Serienmolekularpumpen, Serienmolekularpumpstationen, Serienionenpumpen, Serienschieberventilen und unterstützenden Steuerungen.
Seit der Entwicklung der ersten vertikalen Turbomolekularpumpe in den 1970er Jahren orientiert sich KYKY immer
auf den nachfrageorientierten Markt ausgerichtet, zielt darauf ab, die Anforderungen unserer Kunden zu erfüllen, und bringt kontinuierlich neue Produkte auf den Markt, um im Unternehmensgeist Innovationen voranzutreiben.
Vorteile :
1. Stabile Leistung und lange Lebensdauer
2. Einfache Wartung und bequemer Betrieb
3. Verfügbar unter rauen Betriebsbedingungen (hohe Temperaturen, Staub, starke Korrosion usw.)
Anwendungen:
Turbopumpen der N-Serie werden hauptsächlich in den Bereichen industrielle Lecksuche, PVD, CVD, Ionenimplantation, Herstellung von Vakuumelektronikkomponenten, Low-E-Glas, ITO-Glas, optische Beschichtung, Solarzellen, Elektronenstrahlschweißen, Vakuumöfen und anderen Branchen eingesetzt.
Spezifikationen:
| Flansch (In) | DN400 / ISO-K |
| Flansch (heraus) KF | DN100 |
| Pumpgeschwindigkeit (l / s) | N2: 3500 |
| Er: 2650 |
| H2: 1280 |
| Ar: 3200 |
| Kompressionsrate | N2: 10 8 |
| Er: 10 3 |
| H2: 10 2 |
| Ar: 10 8 |
| Ultimierter Druck (Pa) | |
| ISO-K: 6 × 10 -6 |
| Max. Kontinuierlicher Vorvakuumdruck (Pa) | 100 |
| Max. Vorvakuumdruck | N2: 350 |
| Gas durchgehend (sccm) | N2: 5500 |
| Er: 4000 |
| H2: 3200 |
| Ar: 2100 |
| Drehzahl (U / min) | 13500 |
| Hochlaufzeit (min) | ≤18 |
| Kühlart, Standard | Wasser |
| Kühlwasserverbrauch (l / min) | ≥1 |
| Kühlwassertemperatur (℃) | ≤25 |
| Stromanschluss: Spannung (V AC) | 220 ± 22 |
| Max.Power Consumption (W) | ≤1100 |
| Controller-Modell | TCDP-II / FD-III
mit 2,5 metet kabel |
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