Magnetisch frei geschwebte Turbopumps und Pumpsysteme CXF-250/2301E

Magnetschwebepumpe, CXF-250 / 2301E, Wasserkühlung, An Bord

Die magnetisch schwebenden Molekularpumpen sind die Pumpen, deren Welle durch Magnetkraft unterstützt wird.

Magnetschwebemolekularpumpen der Serie sind Vakuumerzeugungsgeräte, die von KYKY entwickelt wurden, um die Anwendungsanforderungen auf den Gebieten der modernen Halbleiterfertigung, der Chipherstellung, der industriellen Beschichtung und wissenschaftlicher Instrumente zu erfüllen.

Technologien:

• Steuerungstechnologie für Magnetlager : Ein 5-Achs-Magnetschwebefahrzeug, das auf einer fortschrittlichen internationalen Steuerungstheorie basiert und so wesentliche Vorteile der schnelllaufenden Welle wie einen stabilen, schwebenden und zuverlässigen Betrieb garantiert.
• Motor Drive Control Technology: Hocheffizientes Hochgeschwindigkeits-Gleichstrommotor- und Servosteuerungssystem mit maximaler Energie des Motors und automatischer Kompensation der Wellendrehzahl, wodurch ein stabiler Anlauf, zuverlässiger Betrieb und eine automatische Regelfunktion der dynamischen Energie erzielt werden .
• Kohlefaser-Verbundrotortechnologie: Hergestellt aus hochfester Aluminiumlegierung und leichter Kohlefaser. gekennzeichnet durch große Gewichtsreduzierung und große Festigkeitsverbesserung, so dass Ziele von hoher Drehzahl, hoher Leistung und hoher Zuverlässigkeit erreicht werden.
• Korrosionsbeständige Technologie: Oberflächen von Teilen in Kammern werden mit einem speziellen Verfahren behandelt, damit die Oberflächen Korrosion widerstehen können, die durch korrosive Gase in Halbleiterfertigungsprozessen für lange Zeit verursacht wird. Zusätzlich werden Inertgase wie N2 vollständig in den Schacht der Pumpen eingefüllt, um die Niedrigvakuumteile in den Pumpen zu schützen, so dass die Funktion des stabilen Auslassens von korrosiven Gasen für lange Zeiträume realisiert wird.
• Heizungs-Temperaturregelung: Ausgestattet mit einer elektrischen Heizung und einem Temperaturregler können Kühlwasser, Luft-Knochen-Heizung, elektrische Heizung und die von Schutzgasen übertragene Wärme während des Betriebs überwacht und geregelt werden. Die Temperatur in den Pumpen kann auf einem bestimmten Wert für gehalten werden Langfristig werden einige gasförmige Substanzen bei normaler Temperatur nicht in feste Substanzen umgewandelt und nicht in den Pumpen abgelagert, und die Anforderungen für ein spezielles Verfahren wie das Ätzen können erfüllt werden.

Anwendungen:

Magnetschwebemolekularpumpen der Serie werden hauptsächlich in den Bereichen Halbleiterherstellung, Klammerherstellung, industrielle Plattierung und wissenschaftliche Instrumente eingesetzt, insbesondere zum Absaugen von korrosiven Gasen, die bei Ätz-, CVD-, PVD- und Ionenimplantation vorhanden sind, sowie von Gasen, die bei Normaltemperatur leicht koagulieren.

Spezifikationen: