Produktdetails:
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Schmierung: | Maglev | Flansch: | ISO-K/CF |
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Abkühlen: | Wasser | Pumpende Geschwindigkeit: | N2 2300L/s |
Markieren: | molekulare Pumpen Turbos,turbomolecular Vakuumpumpe |
Magnetschwebepumpe, CXF-250/2300, ISO-K / CF, Wasserkühlung, externe Steuerung
Bei den magnetisch schwebenden Molekularpumpen handelt es sich um Pumpen, deren Welle durch Magnetkraft unterstützt wird und die die Anwendungsanforderungen für Bereiche der modernen Halbleiterfertigung, der Chipherstellung, der industriellen Beschichtung und wissenschaftlicher Instrumente erfüllen.
Technologien:
Die Vorteile:
Diese Pumpen haben Vorteile wie Reibungsfreiheit während des Betriebs und einen geringen Stromverbrauch. Leicht zu reinigendes Hochvakuum und Ultrahochvakuum ohne Schmierung für Pumpen. Kann korrosive Gase langfristig absaugen. Hohe Sicherheit und lange Lebensdauer durch Schutz von Lagern mit Präzisionskeramikkugeln und Stromerzeugungsfunktion bei plötzlicher Abschaltung. Es ist reibungs-, verschmutzungs- und wartungsfrei und vibrationsarm und kann in jeder beliebigen Ausrichtung installiert werden.
Anwendungen:
Extraktion von korrosiven Gasen, die bei der Ätz-, CVD-, PVD- und Ionenimplantation vorhanden sind, sowie von bei Normaltemperatur leicht koagulierenden Gasen in den Bereichen Halbleiterherstellung, Klammerherstellung, industrielle Plattierung und wissenschaftliche Instrumente.
Spezifikation:
Flansch (In) | DN250 CF / ISO-K, ISO-F |
Flansch (heraus) KF | DN40 |
Pumpgeschwindigkeit (l / s) | N 2 : 2300 |
Ar: 2250 | |
Er: 1900 | |
H 2 : 850 | |
Kompressionsrate | N 2 : 10 8 |
Ar: 10 8 | |
Er: 10 4 | |
H 2 : 10 3 | |
Ultimierter Druck (Pa) | CF: 1 × 10 -6 |
ISO-K / F: 6 × 10 -6 | |
Max. Kontinuierlicher Vorvakuumdruck (Pa) | 60 |
Max. Vorvakuumdruck | N 2 : 250 |
Gas durchgehend (sccm) | N 2 : 3600 |
Ar: 1400 | |
Er: 2800 | |
H 2 : 2100 | |
Drehzahl (U / min) | 27000 |
Hochlaufzeit (min) | ≤11 |
Kühlart, Standard | Wasser |
Kühlwasserverbrauch (l / min) | 1 |
Kühlwassertemperatur (℃) | 20 |
Stromanschluss: Spannung (V AC) | 220 |
Controller-Modell | CXF-2300 |
Gewicht (kg) | 59 (ISO-K / F) 62 (CF) |
Ansprechpartner: sales
Telefon: +8613810212935