Produktdetails:
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Flansch: | ISO-K/CF | Abkühlen: | Wasser |
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Prüfer: | An Bord | Enddruck: | CF: 1E-6, ISO-K/F: 6E-6 |
Markieren: | molekulare Pumpen Turbos,turbomolecular Vakuumpumpe |
Magnetschwebepumpe, CXF-250 / 2301E, Wasserkühlung, An Bord
Die magnetisch schwebenden Molekularpumpen sind die Pumpen, deren Welle durch Magnetkraft unterstützt wird.
Magnetschwebemolekularpumpen der Serie sind Vakuumerzeugungsgeräte, die von KYKY entwickelt wurden, um die Anwendungsanforderungen auf den Gebieten der modernen Halbleiterfertigung, der Chipherstellung, der industriellen Beschichtung und wissenschaftlicher Instrumente zu erfüllen.
Technologien:
Anwendungen:
Magnetschwebemolekularpumpen der Serie werden hauptsächlich in den Bereichen Halbleiterherstellung, Klammerherstellung, industrielle Plattierung und wissenschaftliche Instrumente eingesetzt, insbesondere zum Absaugen von korrosiven Gasen, die bei Ätz-, CVD-, PVD- und Ionenimplantation vorhanden sind, sowie von Gasen, die bei Normaltemperatur leicht koagulieren.
Spezifikationen:
Flansch (In) | DN250 CF / ISO-K, ISO-F |
Flansch (heraus) KF | DN40 |
Pumpgeschwindigkeit (l / s) | N 2 : 2300 |
Ar: 2250 | |
Er: 1900 | |
H 2 : 850 | |
Kompressionsrate | N 2 : 10 8 |
Ar: 10 8 | |
Er: 10 4 | |
H 2 : 10 3 | |
Ultimierter Druck (Pa) | CF: 1 × 10 -6 |
ISO-K / F: 6 × 10 -6 | |
Max. Kontinuierlicher Vorvakuumdruck (Pa) | 60 |
Max. Vorvakuumdruck | N 2 : 250 |
Gas durchgehend (sccm) | N 2 : 3600 |
Ar: 1400 | |
Er: 2800 | |
H 2 : 2100 | |
Drehzahl (U / min) | 27000 |
Hochlaufzeit (min) | ≤11 |
Kühlart, Standard | Wasser |
Kühlwasserverbrauch (l / min) | 1 |
Kühlwassertemperatur (℃) | 20 |
Stromanschluss: Spannung (V AC) | 220 |
Ansprechpartner: sales
Telefon: +8613810212935