Produktdetails:
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Flansch: | ISO-K/CF DN200 | Abkühlen: | Wasser |
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Schmierung: | Maglev | Pumpende Geschwindigkeit: | N2 1400L/s |
Markieren: | molekulare Pumpen Turbos,turbomolecular Vakuumpumpe |
Magnetpumpe, CXF-200/1400, Wasserkühlung, ISO-K / CF, externe Steuerung
Die magnetisch schwebenden Molekularpumpen sind die Pumpen, deren Welle durch Magnetkraft unterstützt wird.
Magnetschwebemolekularpumpen der Serie sind Vakuumerzeugungsgeräte, die von KYKY entwickelt wurden, um die Anwendungsanforderungen auf den Gebieten der modernen Halbleiterfertigung, der Chipherstellung, der industriellen Beschichtung und wissenschaftlicher Instrumente zu erfüllen.
Technologien:
Die Vorteile:
1. Keine Reibung während des Betriebs und geringer Stromverbrauch
2. Einfach zu erwerbendes, wirklich sauberes Hochvakuum und Ultrahochvakuum ohne Schmierung für Pumpen
3. Kann ätzende Gase langfristig absaugen
4. Hohe Sicherheit und lange Lebensdauer durch Lagerschutz mit Präzisionskeramikkugeln
5. Stromerzeugungsfunktion im Falle einer plötzlichen Abschaltung
6. Reibungsfrei
7. Frei von Verschmutzung
8. Wartungsfrei
9. Geringe Vibration
10. in beliebiger ausrichtung montiert.
Anwendungen:
Extraktion von korrosiven Gasen, die bei der Ätz-, CVD-, PVD- und Ionenimplantation vorhanden sind, sowie von bei Normaltemperatur leicht koagulierenden Gasen in den Bereichen Halbleiterherstellung, Klammerherstellung, industrielle Plattierung und wissenschaftliche Instrumente.
Spezifikationen:
Flansch (In) | DN200 CF / ISO-K, ISO-F |
Flansch (heraus) KF | DN40 |
Pumpgeschwindigkeit (l / s) | N 2 : 1400 |
Ar: 1360 | |
Er: 880 | |
H 2 : 560 | |
Kompressionsrate | N 2 : 10 8 |
Ar: 10 8 | |
Er: 10 4 | |
H 2 : 10 3 | |
Ultimierter Druck (Pa) | CF: 1 × 10 -6 |
ISO-K / F: 6 × 10 -6 | |
Max. Kontinuierlicher Vorvakuumdruck (Pa) | 100 |
Max. Vorvakuumdruck | N 2 : 210 |
Gas durchgehend (sccm) | N 2 : 2700 |
Ar: 980 | |
Er: 2000 | |
H 2 : 1800 | |
Drehzahl (U / min) | 30000 |
Hochlaufzeit (min) | ≤8 |
Kühlart, Standard | Wasser |
Kühlwasserverbrauch (l / min) | 1 |
Kühlwassertemperatur (℃) | 20 |
Stromanschluss: Spannung (V AC) | 220 |
Controller-Modell | CXF-1400 |
Gewicht (kg) | 50 (ISO-K / F) 52 (CF) |
Ansprechpartner: sales
Telefon: +8613810212935