Brauchwasser, das an Bord Pumpe 1401L/S Turbomolecular abkühlt

Magnetschwebepumpe, CXF-200/1401, Wasserkühlung, An Bord

Das elektromagnetische Lager wird auch als "aktiver Magnetschwebebär" bezeichnet und besteht aus einem Magnetlager, einem Sensor und einem Steuersystem. Dieses Design hat ein dynamisches Ansprechverhalten und eine zeitnahe Anpassung, die Hochgeschwindigkeitswelle und einen zuverlässigen Betrieb.

Die magnetisch schwebenden Molekularpumpen sind die Pumpen, deren Welle durch Magnetkraft unterstützt wird.

Magnetschwebemolekularpumpen der Serie sind Vakuumerzeugungsgeräte, die von KYKY entwickelt wurden, um die Anwendungsanforderungen auf den Gebieten der modernen Halbleiterfertigung, der Chipherstellung, der industriellen Beschichtung und wissenschaftlicher Instrumente zu erfüllen.

Technologien:

• Steuerungstechnik für Magnetlager : Das eingesetzte Elektromagnet ist ein 5-achsiger Magnetschwebekörper. Diese Konstruktion kann ein dynamisches Ansprechverhalten und eine zeitnahe Einstellung mittels einer dynamischen aktiven magnetischen Aufhängungsregelung im geschlossenen Kreislauf aufweisen, die auf einer fortschrittlichen internationalen Regelungstheorie basiert, um so wesentliche Vorteile der schnelllaufenden Welle wie einen stabilen Schwebebetrieb und einen zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten.
• Motorantriebs- Steuerungstechnologie: Hocheffizienter Hochgeschwindigkeits-Gleichstrommotor und Servosteuerung werden bei Reihen-Magnetschwebepumpen eingesetzt, um die maximale Energie des Motors zu erreichen und die Drehzahl der Welle automatisch zu kompensieren, wodurch ein stabiler Anlauf erzielt wird. zuverlässiger Betrieb und automatische Regelfunktion der dynamischen Energie.
• Kohlefaser-Verbundrotortechnologie: Die Turborotoren von Molekularpumpen mit serieller magnetischer Aufhängung werden aus hochfester Aluminiumlegierung und leichter Kohlefaser hergestellt. Im Vergleich zu allen Rotoren aus Aluminiumlegierung zeichnen sich die Turborotoren durch eine große Gewichtsreduzierung und eine große Verbesserung der Festigkeit aus, so dass Ziele mit hoher Drehzahl, hoher Leistung und hoher Zuverlässigkeit erreicht werden.
• Korrosionsbeständige Technologie: Oberflächen von Teilen in Kammern von Molekularpumpen mit serieller magnetischer Suspension werden mit einem speziellen Verfahren behandelt, damit die Oberflächen Korrosion widerstehen können, die durch korrosive Gase in Halbleiterfertigungsprozessen für lange Zeit verursacht wird. Zusätzlich werden solche Inertgase wie N2 vollständig in den Schacht der Pumpen eingefüllt, um die Niedrigvakuumteile in den Pumpen zu schützen, so dass die Funktion des stabilen Absaugens von korrosiven Gasen für lange Zeiträume realisiert wird.
• Heizungs-Temperaturregelsystem: Die Magnetschwebepumpen der Serie sind mit einer elektrischen Heizung und einem Temperaturregler ausgestattet, so dass das Kühlwasser, die Luft-Knochen-Heizung, die elektrische Heizung und die durch Schutzgase übertragene Wärme während des Betriebs überwacht und geregelt werden können Pumpen können langfristig auf einem bestimmten Wert gehalten werden, einige gasförmige Substanzen werden bei normaler Temperatur nicht in feste Substanzen umgewandelt und nicht in den Pumpen abgelagert, und die Anforderungen für spezielle Verfahren wie das Ätzen können erfüllt werden.

Die Vorteile:

1. Reibungsfrei während des Betriebs und geringer Stromverbrauch

2. Leicht zu beschaffen, wirklich sauberes Hochvakuum und Ultrahochvakuum ohne Schmierung für Pumpen

3.Kann langfristig ätzende Gase absaugen

4. Hohe Sicherheit und lange Lebensdauer durch Lagerschutz mit Präzisionskeramikkugeln

5. Stromerzeugungsfunktion im Falle einer plötzlichen Abschaltung

Spezifikationen:

Anwendungen:

Magnetschwebemolekularpumpen der Serie werden hauptsächlich in den Bereichen Halbleiterherstellung, Klammerherstellung, industrielle Plattierung und wissenschaftliche Instrumente eingesetzt, insbesondere zum Absaugen von korrosiven Gasen, die bei Ätz-, CVD-, PVD- und Ionenimplantation vorhanden sind, sowie von Gasen, die bei Normaltemperatur leicht koagulieren.