Pumpstation Wate des Vakuumfj-700 Turbo Abkühlen

Art: Antiätzmittel

Flansch: DN160 CF ISO-K

Pumpende Geschwindigkeit: N2 600L/s

Enddruck: ISO-K: 6×10-7, CF: 6×10-8, PA

Pumpende Geschwindigkeit: N2 600L/s

Abkühlen: Luft

Enddruck: ISO-K: 6×10-7, CF: 6×10-8, PA

Undichte Rate der Vakuum-Anlage:: ≤ 1×10-9Pa·m3/S

Enddruck: CF: 6×10-7 ISO-K: PA 6×10-6

Flansch: DN100 CF/ISO-K

Foreline-pumpe: 4L/s

pumpende Geschwindigkeit: N2: 110L/s

Pumpende Pumpe: N2 62L/s

Stützung der Pumpe: GHD-031B (Ölpumpe) KNF 813,3 ANF (trockene Pumpe)

Enddruck: 3×10-5 (ISO-K); 5×10-6 (CF)

Empfohlener Vorderteilvakuumdruck: 50Pa

Pumpende Geschwindigkeit: N2 700L/s

Enddruck: CF: 6×10-8 ISO-K: PA 6×10-7

Abkühlende Art, Standard: watet

Kühlwasser Consumpion: 1