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Produktdetails:
Zahlung und Versand AGB:
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| Resolution: | SE：3nm@30KV，8nm@3kV； BSE ：4nm@30KV | Magnification: | 1x-450000x |
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| Specimen Stage: | Five axes stage | Electron Gun: | Pre-aligned tungsten filament |
| Hervorheben: | sem-Elektronenmikroskop,sem-Maschine |
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Als Kyky über 60 Jahre SEM-Herstellungserfahrung unterstützt die gesamte EM-Serie das alte System renoviertes und maßgeschneidertes System als SEM+, wie Elektronenstrahl-Lithographie-Remodel, LAB6-Upgrade, integriert in STM, AFM, Heizstufe; Cryo-Stufe; TELSILE-Stadium; Micro-Nano-Manipulator usw. Das System hat auch mehrere Grenzflächen für den größten Teil des Analyse-Detektordetektors im Analyse des Analyse-Detektordetektors an der Analyse-Detektordetektor-Detector-Detector-Detector-Detector-Detector-Grenzfläche.
Vorteile:
◆ Optionale niedrige Vakuummodule (LVSE, LVBSE)
◆ Reiche Automatisierungsfunktionen
◆ Anpassung der Spalte/Kammer/elektrische Systeme
◆ Optionale große Größenkammer
◆ Breite Feldnavigationskamera
◆ Reiche expandierende Anhänge
Spezifikationen:
| Artikel | EM6910 Wolfram -Filament SEM | |
| Auflösung | SE: 3NM@30KV, 8NM@3KV ； BSE: 4NM@30KV | |
| Vergrößerung | 1x-450000x | |
| Elektronenpistole | Vorab gerichtetes Wolframfilament | |
| Spannung beschleunigen |
0,2 KV-30kV
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Vakuumsystem
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Molekülpumpe Turbo +mechanische Pumpe
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| Objektive Blende | Molybdänemperatur einstellbares Außendaugersystem | |
| Probenstufe | Fünf Achsenstufe | |
| Reisen | X (Auto) | 0 ~ 80 mm |
| Reichweite | Y (Auto) | 0 ~ 50 mm |
| Z (Handbuch) | 0 ~ 30 mm | |
| R (Handbuch) | 360 ° | |
| T (Handbuch) | -5 ° ~ 70 ° | |
| Maximaler Exemplardurchmesser | 175 mm | |
| Detektor |
Sekundärer Elektronenmelder
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Halbleiter BSE -Detektor ※
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Infrarot CCD
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| SED mit niedrigem Vakuum ※/ niedrig-vakuum BSED ※
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| Änderung | Bühnen -Upgrade; EBL; STM; AFM; Heizstufe; Kryo -Stufe; Zugbühne; Mikro-Nano-Manipulator; SEM+Beschichtungsmaschine; SEM+Laser | |
| Zubehör | Lab6, Röntgenmeldedetektor (Hrsg.), EBSD, CL, WDS, Beschichtungsmaschine | |
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Niedrige Vakuumfunktion ※
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Vakuumstufe 10-270pa SE: 4nm@30kV, 50pa
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Ansprechpartner: Ms. Wang He
Telefon: 86-10- 82548271
Faxen: 86-010-62564613
